本帖最后由 大圣 于 2012-5-26 10:11 编辑
1目的:检查洁净(区)空气中悬浮粒子数是否符合要求。
2范围:凡本公司10万级、1万级、100级的洁净环境均应作悬浮粒子检查。
3职责:测定尘埃粒子数人员、工艺员对本程序实施负责。
4程序
4.1所用仪器
光散射粒子计数器。
4.2测试规则
4.2.1测试条件
4.2.1.1温度和湿度
洁净室(区)的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应(温度控制在18℃~24℃,相对湿度控制在45%~60%之间为宜)。
4.2.1.2压差
空气洁净度不同的洁净室(区)之间的压差应≥4.9Pa,空气洁净度级别要求高的洁净室(区)对相邻的空气洁净度级别低的洁净室(区)一般要求呈相对正压。
4.2.2测试状态
静态测试时,室内测试人员不得多于2人。
4.2.3测试时间
4.2.3.1对单向流,测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10min后开始。
4.2.3.2对非单向流,测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于30min后开始。
4.3尘埃粒子数测定
4.3.1选择采样位置
4.3.1.1对于层流净化间,规定在气流垂直上方,洁净室作业区域上流段位置测量。
4.1.2对于紊流净化间,在水平面上采样。
4.3.2选择最少采样点采样
悬浮粒子洁净度测试的最少采样点数目,查表1确定。
4.3.3采样点的位置
采样点一般在离地面0.8m高度的水平面上均匀布置。
4.4仪器操作参照《尘埃粒子计数器操作程序》。
4.5结果计算
悬浮粒子浓度的采样数据应按下述步骤作统计计算:
4.5.1采样点的平均粒子浓度
∑Ci
A=
N
式中:A—某一采样点的平均粒子浓度,粒/ m3;
Ci—某一采样点的粒子浓度(i=1,2,3……N)粒/ m3;
N—某一采样点上的采样次数,次。
4.5.2平均值的均值
∑Ai
M=
L
式中:M—平均值的均值,即洁净室(区)的平均粒子浓度,粒/ m3;
Ai—某一采样点的平均粒子浓度(i=1,2,3……L)粒/ m3;
L—某一洁净室(区)内的总采样点数,个。
4.5.3标准误差
SE= √∑(Ai-M)2/(L-1)
式中:SE—平均值均值的标准误差,粒/ m3。
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