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ISO 14644-1:2015(2015.12.15)洁净室和相关控制环境 第1部分:空气洁净度等级划分(GB/T 25915.1-2010)
ISO 14644-2:2015(2015.12.15)洁净室和相关控制环境 第2部分:证明持续符合ISO 14644-1的检测与监测技术条件(GB/T25915.2-2010)
ISO 14644-3:2005(2005.12.06)洁净室和相关控制环境 第3部分:检测方法 (GB/T 25915.3-2010)
ISO 14644-4:2001(2001.04.12)清洁房及相关受约束环境 第4节:设计 、运行、建造 ( GB/T 25915.4-2010)
ISO 14644-5:2004(2004.08.15)洁净室和相关控制环境 第5部分:运行 (GB/T 25915.5-2010)
ISO 14644-6:术语及定义(2007已作废)(GB/T 25915.6-2010)
ISO 14644-7:2004(2004.10.01)洁净室和相关控制环境 第7部分:隔离装置(洁净风罩、手套箱、 隔离器和微环境) (GB/T 25915.7-2010)
ISO 14644-8:2013(2013.02.18)洁净室及相关受控环境 第8部分:按空气污染(ACC)划分空气洁净度(GB/T 25915.8-2010)
ISO 14644-9:2012(2012.08.15)洁净室及相关受控环境 第9部分:按颗粒浓度进行的表面清洁度分类
ISO 14644-10:-2013(2013.03.01) 洁净室和相关受控环境 第10部分:化学浓度法进行表面洁净度分类
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