COP器具清洗机如何达到0.2um颗粒小于20个/ml

18144810236 · 发表于 2023-2-27 11:00:33

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半导体行业，问了国内2大客户都说买的这个机器烘干达不到0.2um颗粒<20个/ml。
但是洗的话，都没问题。
有没有办法呀？

栗子7 · 发表于 2023-2-27 11:09:29

要达到这个结果，是不是所用的清洗水的质量更为重要？

胜利者 · 发表于 2023-2-27 11:47:23

密闭后送洁净空气置换

猫咪特工 · 发表于 2023-2-27 11:49:24

本帖最后由木木杨1 于 2023-2-27 11:53 编辑

0.2um颗粒<20个/ml确实是非常严格的要求，根据中国药典2020《0903 不溶性微粒检查法》，即使是注射剂的不溶性微粒要求都远高于楼主的要求，这可能是半导体行业的特点。

对于楼主的疑问，可能很难在这里找到答案。

因为对于制药行业，H14高效过滤器已经基本满足要求，但是对于半导体行业，可能需要使用ULPA（Ultra Low Penetration Air）超高效空气过滤器，ULPA过滤器的过滤效率更高，可以达到99.9995%以上，常用于更为苛刻的洁净室和生产环境中，例如制造集成电路和飞行器航天器等高科技领域。

shanghaijinke · 发表于 2023-2-27 12:21:49

超高效过滤器

有个性的乡巴佬 · 发表于 2023-2-27 12:26:31

木木杨1 发表于 2023-2-27 11:49
0.2um颗粒

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