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zackzong 发表于 2021-10-16 21:33 你是指工艺设备,洁净房间,还是管道系统啊 我只能回答你洁净房间的。在过去都是安装压力表,集中布置在一起每天巡检记录。现在都是压差传感器了,在EMS监控洁净室的压差就行。在一些核心的工艺房间也会安装本地的压力表,也有在人流安装压力表的。
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