薄膜技术与薄膜材料—田民波编著

lwjxz · 发表于 2017-11-4 14:48:37

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薄膜技术与薄膜材料—田民波编著

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内容概要

　　薄膜及微细加工技术的应用范围极为广泛，从大规模集成电路、电子元器件、平板显示器、信息记录与存储、MEMS、传感器、白光LED固体照明、太阳能电池到材料的表面改性等，涉及高新技术产业的各个领域。本书内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用等4大部分，涉及薄膜技术与薄膜材料的各个方面，知识全面，脉络清晰。《薄膜技术与薄膜材料》共17章，文字通俗易懂，并配有大量图解，每章后面附有习题，有利于对基本概念和基础知识的理解、掌握与运用。本书可作为材料、机械、精密仪器、化工、能源、微电子、计算机、物理、化学、光学等学科本科生及研究生教材，对于从事相关行业的科技工作者与工程技术人员，也具有极为难得的参考价值。

目录
第1章　真空技术基础
第2章　真空泵与真空规
第3章　真空装置的实际问题
第4章　气体放电和低温等离子体
第5章　薄膜生长与薄膜结构
第6章　真空蒸镀
第7章　离子镀和离子束沉积
第8章　溅射镀膜
第9章　化学气相沉积(cvd)
第10章　干法刻蚀
第11章　平坦化技术
第12章　表面改性及超硬膜
第13章　能量及信号变换用薄膜与器件
第14章　半导体器件、记录和存储用薄膜技术与薄膜材料
第15章　平板显示器中的薄膜技术与薄膜材料
第16章　太阳电池中的薄膜技术与薄膜材料
第17章　白光led固体照明与薄膜技术
参考文献
作者书系

365607540 · 发表于 2017-11-4 15:27:15

学习学习！

syhorchid · 发表于 2017-11-4 23:40:26

谢谢分享

xqliu · 发表于 2017-11-5 16:46:22

学习一下啦，谢谢提供分享。

wsg771012 · 发表于 2017-11-5 16:57:36

看看学习一下

套路 · 发表于 2017-12-30 23:23:49

感谢分享，先收藏

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lwjxz · 发表于 2018-1-16 12:51:23

薄膜技术与薄膜材料一田民波编著

ss359 · 发表于 2018-2-20 15:38:41

谢谢楼主分享

phkk · 发表于 2021-4-18 13:26:59

谢谢楼主分享

lucian204 · 发表于 2022-3-6 21:59:51

多谢楼主分享！

小金库 · 发表于 2022-7-3 17:23:39

这么好的资料，值得拥有

小金库 · 发表于 2022-7-9 18:24:06

谢谢分享。

小金库 · 发表于 2022-7-14 20:41:44

论坛好资料真不少

bigform · 发表于 2024-8-5 22:27:31

感谢楼主分享资料

张吉刚 · 发表于 2024-8-6 07:14:29

下载中，谢谢楼主共享。

793295036 · 发表于 2024-8-6 07:37:48

谢谢分享

胜利者 · 发表于 2024-8-6 08:15:32

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[继续教育] 薄膜技术与薄膜材料—田民波编著

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